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    1. 【自有技術大講堂】光通芯片質量控制解決方案

      網站首頁    公司資訊    【自有技術大講堂】光通芯片質量控制解決方案

      一、方案介紹:

       

      VCSEL全稱為垂直腔面發射激光器,是半導體激光器的一種,當前以砷化鎵半導體為基礎材料的VCSEL居多,發射波長主要為近紅外波段。主要應用在數據通信、傳感器、3D傳感(手機、汽車)、Li-DAR(自動駕駛汽車探測)、VR、AR(智能穿戴)等領域。

       

      DFB、EML激光器為邊發射激光器,主材料為磷化銦。主要應用在高階智能駕駛、基站、數據中心、衛星通訊、移動通訊和GPS等領域。

       

      在光通芯片制造過程中,其工藝穩定性不如硅基產品,比如蝕刻偏移、批次顏色差異大,缺陷小等問題。目前國外廠商采用的都是gold die的檢測方式,對工藝的穩定性要求比較高,同時定制化程度差,對NG分類能力弱等特點,因此對于光通芯片廠商改善工藝和品質的幫助不大。其次通過AOI收集的圖片,新產品的良率,產量甚至廠商的能力和瓶頸有機會被推算出來,這對半導體廠商是非常不利的。

       

      高視半導體針對光通芯片的檢測困難點及工藝進行了深入分析,歷時兩年多的時間推出了一套光通芯片的質量控制解決方案,并在國內頭部客戶實現量產并批量出貨。

       

       

      二、方案優勢:

       

      (1)多層聚焦技術,解決VCSEL芯片,芯片的不同區域高度不一致,采用高倍率鏡頭無法一次聚焦清晰的問題。

       

       

      (2)亮度色度校正技術,對芯片亮度色度進行矯正,解決不同批次的產品同一個區域顏色差異變化大,影響檢測的問題。

       

       

      (3)GoBrain(專利技術)雙核檢測技術,解決芯片在光刻制程中易偏移,影響其他缺陷的檢出的問題。

       

       

      三、質量管理系統-GoInfo:

       

       

      1.設備管理:

      各工序匯總數據看板,局域網內通過總控頁面查看各工序機臺的生產情況,監控各工序機臺生產數據。

       

      2.工藝查詢:

      對AOI設備檢測過的產品,通過wafer ID追根溯源,對過漏檢的參數進行調整。

       

      3.缺陷疊加分析:

      對不同工藝段檢測的缺陷做疊加顯示,便于工藝分析缺陷的演變過程。

       

      4.缺陷歸因:

      通過對比所有工序上的同一缺陷的數量,了解缺陷數量變化導致的產品外觀良率發生改變,歸因到產生變異的工序,指導工藝改善。

       

      四、應用案例:

       

      2022年7月26日 11:22
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